江苏苏州半导体工厂百级洁净室装修建设案例
发布者:艾厦净化
发布时间:2023-06-15
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江苏苏州半导体工厂百级洁净室装修建设案例
半导体生产和制造对于车间环境空气质量的要求非常高,因此需要建造洁净室,半导体工厂洁净室作为高端的净化房间之一,主要是通过引入高效过滤器对室内的尘埃、细菌、气体等有害粒子进行净化处理,创造一个非常干净、无菌、稳定的环境,最大程度上保证半导体器件的质量和长期使用的稳定性。百级洁净室是半导体生产中的常见洁净室等级之一。此案例江苏苏州半导体工厂的百级洁净室是为满足半导体生产过程中的环境要求,保证半导体产品的质量和性能。本文将会详细介绍江苏苏州半导体工厂百级洁净室装修建设的相关情况。
关于项目:半导体工厂洁净室
项目地点:江苏苏州
项目名称:百级
行业类别:电子工业-半导体
建造面积:约2600平方米
半导体洁净室装修设计根据ISO-14644-1标准以及半导体行业和洁净室的相关规范,通过建立工艺流程、材质选择、精细化管理等多方面的设计,强调材料、生产工艺、测试检测等各方面的安全性、可靠性和稳定性。来最大化地保证室内洁净度。
半导体洁净室设计包括了洁净室布局规划设计、空气净化、照明、静电控制等多个方面。半导体洁净室设计需要注意的事项有:
1、采购高效空气过滤器ffu,选用具有高精度、低噪声、高效过滤等特点的设备。
2、对空气压力进行合理控制,保证室内干净空气的流动。
3、确定进出口净化空气流量并严格控制,这样能够降低污染物的入口。
4、采取适当的空气处理系统、自动控制系统和低负荷运行系统。
5、为确保洁净度、抗静电、抗折射等特性,选用透明、容易安装的高科技隔音材料。
6、半导体黄光区设计
半导体的黄光区需求是由半导体生产工艺提出的,是指半导体器件在制造过程中使用黄光机等工具进行曝光的区域。由于该区域与其他区域不同,具有很高的光源强度和区域干净度的要求,因为黄光区所在室是作为半导体生产控制的重要一部分。因此,黄光区设计时,需要根据洁净室的等级、设施安排和工艺要求,组织优秀的设计团队进行全方位的规划和布局,确保黄光区有良好的光学性能和稳定性,并满足半导体生产工艺的要求。
1、 墙面材料:镁钙板、两层钢板、不锈钢板等,具有防水、抗静电、防腐等特点
2、 地面材料:Epoxy地坪,防潮防静电,防尘,维护便捷等,常选用具有多种颜色可供选择的型材。
3、 天花板材料:是抗菌性、无菌性材料,一般选用不锈钢等材料制成,并在上面安装高品质的U型罩板,这些板材具有厚度大、防霉嫌疑较小、耐腐蚀性强等优点。
4、 静电地砖:该地砖是一种具有超高的抗静电性能,不会因吸附静电而损害半导体器件。
1、前期准备: 总体设计和细化设计:通过现场勘察、计算机模拟等方式进行方案设计、空气流动图设计、施工方案编制等。确定规划方案、设计、签合同、施工团队进场、选材、材料采购等。
2、半导体洁净室装修在施工过程中,安排专业班组,以确保整个施工过程的精确、高效和安全。在施工中,必保清洁环境,以免污染空气流动路线。安全防护,需要佩戴特定的防护服和防护面具和其他防护用品。
3、 试运行:在洁净室装修工程的最后阶段,对装修完工的洁净室进行开机试运行检测,调整进出口空气流量和风机转速等参数。
4、在洁净室装修完成所有工作后,先自行进行整体清洁和空气检测,保证洁净室符合所需等级。之后资料整理:整理施工图和验收报告等资料交于业主。
半导体洁净室装修设计必须严格控制住污染物的来源,最大化保证空气质量。在半导体洁净室建设过程中,需要加强安全和卫生措施,确保施工场所的安全和卫生。还需要严格遵守相关标准和规范,确保建造出高水平的洁净室。本文涵盖了半导体洁净室装修设计的各个方面,希望读者对半导体洁净室的装修建设的有更深层次的理解和认识。
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