江苏苏州百级洁净室装修工程建设施工和造价案例：Class10半导体芯片车间

　　半导体芯片作为信息设备中的核心部件，芯片线宽已经进入纳米级。因此，半导体芯片对生产环境的要求也越来越高，生产过程变得非常重要。对于半导体芯片生产企业而言，半导体净化工程洁净室内系统的运行状态对芯片品质和通过率的影响举足轻重，洁净室装修的标准将直接影响到半导体芯片的生产质量和产量稳定，以及企业的形象和声誉。净化洁净室的洁净等级也必须有一个公认的标准，比如以Class10为例，意谓在单位立方英寸的洁净室空间内，平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以Class后头数字越小，洁净度越佳，当然其造价也越昂贵。下面分享江苏苏州一家半导体芯片车间Class10百级洁净室装修工程建设施工和其造价的案例。

　　一、Class10半导体芯片车间百级洁净室装修项目详情

　　关于项目：半导体芯片车间洁净室

　　项目地点：江苏苏州

　　洁净等级：百级(Class10)

　　行业类别：光学电子、半导体、芯片

　　建造面积：约2000平方米

　　二、半导体芯片洁净室装修设计依据和参数

　　1. GB50073-2001《洁净厂房设计规范》;

　　2. GJB331A-2000《半导体洁净厂房技术条件》;

　　3. ISO 14644-1《洁净室与相关受控环境的分类》;

　　4. 《半导体行业标准》。

　　5.半导体芯片洁净室装修相关参数

　　由于半导体芯片产品在制造、生产过程中对洁净室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

　　5.1、洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)

　　5.2、垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。

　　5.3、与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

　　5.4、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：

　　5.5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

　　5.6、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

　　5.7、净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量。

　　三、半导体芯片洁净室装修材料要求

　　1. 抗静电、抗辐射、无尘、无毒、无味、易清洁、环保等特点;

　　2. 外观美观、提升企业形象和产品品质;

　　3. 板材之间的接缝处应该严密无缝，避免灰尘等污染物进入洁净室渗透至芯片;

　　4. 材料应该符合相关的国家标准，且应该经过专业检测。

　　四、百级半导体芯片洁净室装修施工

　　百级半导体芯片洁净室装修的施工过程需要专业的施工团队、先进的施工技术和高品质的净化材料。

　　1、洁净室装修隔断工程

　　彩钢板隔断安装:相当于一般框架。材料进场后，所有隔墙都要做好。

　　2、洁净室设备安装工程

　　洁净室主要设备包括：FFU过滤器、净化灯(工程基本完成在安装)、出风口、风淋室、空调等。在吊顶工程之前先将水电路、设备安装好，再进行吊顶净化板安装。洁净室设备、吊顶安装基本完成，下一步是地面工程。

　　3、洁净室装修吊顶工程

　　洁净室吊顶采用专业的铝合金方管龙骨，铝塑板面层，面板用透明硅酸勾缝，保证缝隙不漏风。因吊顶经常上人检修，其吊顶采用∠50×50×5角钢做挂件与主体结构连接牢固，不应与设备支架和管线支架相联接，且百级洁净室内吊顶上不开设上人检修孔，上人检修孔可以设在走廊过道上。

　　4、洁净室装修地面工程——做高架地板

　　高架地板的面层和支承件，应平整、坚实，并具有耐磨、防霉变、防潮、难燃或不燃、耐污染、耐老化、导静电、耐酸碱等性能。此百级洁净室案例地板有通风要求，高架地板面层上的开孔率和开孔分布、孔径或边长等均应符合设计要求。

　　5、洁净室彩色钢门、铝合金固定窗、传递窗安装

　　5.1、彩钢门

　　门框采用铝合金框架材料，门扇采用彩色钢板表面。门框加工时，斗角应平整，安装后的门框应水平、垂直，确保整个门框外观美观;门扇与门框之间增加密封条，门扇与地面之间增加清扫条，确保整个门的密封性能。

　　5.2、　传送窗安装

　　传动窗是一个中转站，用于在两个不同的洁净室环境中相互转换物品，以防止不同洁净等级区域的气流干扰，并确保各自区域的气压分布稳定。净化车间传动窗采用机械连锁不锈钢传动窗，具有窗与窗之间的自动联锁功能，确保不同区域的实际隔离。传动窗的安装必须牢固、紧凑、美观。

　　5.3、铝合金固定窗安装

　　固定窗中空玻璃安装时，必须保证两块玻璃之间的洁净无污点，然后加密封条，确保其气密性。

　　五、　百级半导体芯片洁净室装修造价

　　1. 基础建设费用：如抗震设施、基础土建设施等;

　　2. 设备及配套费用：如过滤器、净化机组、洁净室照明、空调系统等;

　　3. 材料费用：如墙板、天花等特定材料费用;

　　4. 人工和安装费用：如施工团队、施工工具等费用。

　　半导体芯片洁净室有着严格的洁净度要求，其设计施工也是相当复杂的。此外，洁净度越高，洁净室建造费用也越高。　据统计，百级半导体芯片洁净室的造价大约在5000元至10000元/平米之间，具体根据实际情况衡量费用。再加上消防、三废、供配电和自控系统，洁净室建造费用更是高达10000元-30000元/㎡。

　　当完成半导体芯片洁净是装修建造后，还要经过验收：检查隔墙材料是否完好无损。车间洁净室是否达到等级。各区域设备调试、检测能否正常运行等。

　　总之，对于半导体生产企业而言，建设高标准的洁净室装修不仅是企业生产过程的重要保障，同时也是企业的一项战略举措，提升企业的生产力和企业形象，进一步促进半导体芯片产业的长足发展。